吉时利 2601B-plus SMU 器件脉冲特性测试技术解析
在光电子与半导体行业,垂直腔面发射激光器 VCSEL、大功率 LED、MOSFET、光电探测器等器件的特性测试,不仅需要静态直流 IV 扫描,很多可靠性验证场景还需要脉冲激励测试,规避自热效应带来的参数漂移。传统方案依靠独立信号源、脉冲电源、采集卡组合搭建系统,多设备之间触发同步难度高,脉冲边沿失真,同时小漏电流测量容易受线缆噪声干扰。并且大量测试指令依赖 PC 端下发,总线通信延迟会直接拉低产线分选速度。吉时利 2601B-plus 作为 2600B 系列高性能系统源表,依托 TSP 嵌入式脚本处理技术,把测试逻辑在仪器本地执行,大幅降低上位机通信瓶颈,一站式解决直流 + 脉冲多模式器件表征难题。
硬件层面,2601B-plus 为单通道 SMU,输出规格最高 40V、10A,最大功率 200W,电压分辨率 100nV,电流测量下限可达 100fA,6½ 位测量分辨率,基础测量精度 0.015%,兼顾大功率输出与超微弱信号捕获能力。仪器支持四象限源 / 阱工作模式,既能输出电压、电流激励,又可作为负载吸收能量。支持四线远程传感,消除探针、夹具引线电阻带来的压降误差,在晶圆探针台封装器件测试场景中优势突出。
区别于普通数字源表,2601B-plus 搭载 TSP 测试脚本处理器,测试程序可直接在仪器内部运行,不需要 PC 持续传输指令,测试吞吐量相比传统 SMU 提升显著。内置数字 I/O 触发接口,可与探针台、红外热成像仪、外部测试设备做纳秒级同步,完美适配脉冲 I-V 测试、器件失效分析、锁相热成像故障定位。仪器支持线性、对数、自定义列表扫描,大容量板载存储,可一次性采集上千组 I-V 采样点,内置比较器实时输出 Pass/Fail 结果,适合产线大批量器件快速分选。通信接口包含 LAN、USB、GPIB,兼容 SCPI 指令,同时兼容旧款 2400 系列源表代码,原有测试平台升级改造成本低,减少程序重写工作量。
广泛应用于 VCSEL、激光二极管、大功率 LED、功率 MOS、传感器、薄膜材料的 LIV 测试、反向击穿测试、脉冲特性测试与可靠性老化验证,覆盖高校微电子实验室、光通信器件研发企业、半导体分立器件量产产线。
深圳美佳特科技备有吉时利 KEITHLEY 2601B-plus 系统源测量单元现货,仪器可提供校准服务,可提供器件测试方案评估、仪器选型技术支持,有半导体、光电器件精密测试仪器采购需求,欢迎联系咨询.(189-4817-8581)

吉时利 2601B-plus SMU 器件脉冲特性测试技术解析
在光电子与半导体行业,垂直腔面发射激光器 VCSEL、大功率 LED、MOSFET、光电探测器等器件的特性测试,不仅需要静态直流 IV 扫描,很多可靠性验证场景还需要脉冲激励测试,规避自热效应带来的参数漂移。传统方案依靠独立信号源、脉冲电源、采集卡组合搭建系统,多设备之间触发同步难度高,脉冲边沿失真,同时小漏电流测量容易受线缆噪声干扰。并且大量测试指令依赖 PC 端下发,总线通信延迟会直接拉低产线分选速度。吉时利 2601B-plus 作为 2600B 系列高性能系统源表,依托 TSP 嵌入式脚本处理技术,把测试逻辑在仪器本地执行,大幅降低上位机通信瓶颈,一站式解决直流 + 脉冲多模式器件表征难题。
硬件层面,2601B-plus 为单通道 SMU,输出规格最高 40V、10A,最大功率 200W,电压分辨率 100nV,电流测量下限可达 100fA,6½ 位测量分辨率,基础测量精度 0.015%,兼顾大功率输出与超微弱信号捕获能力。仪器支持四象限源 / 阱工作模式,既能输出电压、电流激励,又可作为负载吸收能量。支持四线远程传感,消除探针、夹具引线电阻带来的压降误差,在晶圆探针台封装器件测试场景中优势突出。
区别于普通数字源表,2601B-plus 搭载 TSP 测试脚本处理器,测试程序可直接在仪器内部运行,不需要 PC 持续传输指令,测试吞吐量相比传统 SMU 提升显著。内置数字 I/O 触发接口,可与探针台、红外热成像仪、外部测试设备做纳秒级同步,完美适配脉冲 I-V 测试、器件失效分析、锁相热成像故障定位。仪器支持线性、对数、自定义列表扫描,大容量板载存储,可一次性采集上千组 I-V 采样点,内置比较器实时输出 Pass/Fail 结果,适合产线大批量器件快速分选。通信接口包含 LAN、USB、GPIB,兼容 SCPI 指令,同时兼容旧款 2400 系列源表代码,原有测试平台升级改造成本低,减少程序重写工作量。
广泛应用于 VCSEL、激光二极管、大功率 LED、功率 MOS、传感器、薄膜材料的 LIV 测试、反向击穿测试、脉冲特性测试与可靠性老化验证,覆盖高校微电子实验室、光通信器件研发企业、半导体分立器件量产产线。
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