R&S ZNA67 矢量网络分析仪 10MHz-67GHz 罗德与施瓦茨高频精密测量解决方案
R&S ZNA67 矢量网络分析仪 10MHz-67GHz 罗德与施瓦茨高频精密测量解决方案
产品特点
频率覆盖 10MHz～67GHz，主机提供 2 端口或 4 端口配置，测试端口为坚固型 1.85mm 接口，适配 Ka 波段毫米波主流测试需求；搭配 ZNA67EXT 外部扩展单元，可拓展至 110GHz，满足更高频段在片测试。
射频性能优异，动态范围指标高，典型最高可达 170dB，低迹线噪声，微弱信号也能稳定测量，保障滤波器、耦合器等低损耗无源器件测试精度。
内置多相参信号源与并行接收机架构，支持真差分、混合模式 S 参数测量，非常适合差分芯片、平衡器件、差分天线测试。
面向被测件的触控操作界面，Windows 触控系统，操作直观，多测量窗口并行显示，支持批量测试模板保存，简化毫米波复杂校准流程。
支持丰富校准方式：SOLT、TRL、LRM 等，可和 MPI 等品牌探针台紧密集成，适配晶圆在片射频测试场景，缩短探针到扩展单元走线，提升稳定性。
支持完善的功率扫描能力，典型连续功率扫宽可达 100dB，支持放大器压缩、增益、稳定性、噪声参数等有源器件测试。
丰富选件：步进衰减器、谐波测量、时域分析、阻抗转换、夹具去嵌入、自动校准套件；支持 SCPI 程控，方便接入自动化产测系统。
一体化紧凑型主机，集成信号源、接收机、测试单元，减少外部配件，实验室和产线工位布局更简洁。
参数规格表
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 频率范围 | 10 MHz ~ 67 GHz（选配 ZNA67EXT 扩展至 110 GHz） |
| 端口配置 | 2 端口 / 4 端口可选 |
| 测试端口连接器 | 1.85mm 公头，50Ω |
| 典型动态范围 | >129dB（规格值），最高可达 170dB |
| 迹线噪声（典型） | 0.002 dB RMS |
| 功率扫描范围 | 典型 100 dB 连续电子扫描 |
| 测量功能 | S 参数、时域、差分 / 混合模 S 参数、阻抗、增益压缩、夹具去嵌入 |
| 校准类型 | SOLT、TRL、LRM 等 |
| 操作系统 | Windows 触控系统 |
| 程控接口 | SCPI，支持自动化集成 |
应用案例
案例 1：5G 毫米波射频器件研发测试
毫米波滤波器、功分器、耦合器、天线、射频前端模组研发，测试插入损耗、回波损耗、隔离度、相位、群时延，验证器件在 24~67GHz 频段射频指标。
案例 2：半导体晶圆在片芯片测试
射频 IC、PA、开关、无源芯片晶圆级表征，搭配探针台 + ZNA67EXT 扩展单元，完成最高 110GHz 在片差分 S 参数测试，用于芯片定型验证。
案例 3：雷达、卫星通信组件验证
Ka 波段雷达 T/R 组件、卫星通信无源器件、波导过渡件、线缆组件的驻波、损耗、端口隔离测试，评估毫米波链路性能。
案例 4：产线批量器件质检
毫米波器件量产产线，调用自动测试序列、夹具去嵌入，批量判定器件指标是否合格，自动保存数据和测试报告。
FAQ
Q1：ZNA67 和 ZNA43 的区别？
A1：ZNA43 上限 43.5GHz；ZNA67 最高 67GHz，端口 1.85mm 接口，面向 Ka 毫米波；架构、操作软件一致，ZNA43 更适合 Sub-6G 和 43.5GHz 以内测试。
Q2：ZNA67EXT 是什么？
A2：是配套的外部频率扩展单元，和 ZNA67 主机组合，可把测量上限拓展至 110GHz，主要用于更高频段晶圆在片测试，需要单独选配。
Q3：能不能测差分射频芯片？
A3：原生支持真差分、混合模式 S 参数测量，是平衡放大器、差分芯片、差分天线测试的主流方案。
Q4：矢量网络分析仪可以直接测 EVM 吗？
A4：ZNA 主打 S 参数、阻抗、时域等线性参数；EVM、解调分析一般使用 FSW 系列信号分析仪。
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