R&S 罗德与施瓦茨 ZVA67 矢量网络分析仪

1. 品牌介绍

罗德与施瓦茨（Rohde & Schwarz，R&S）是全球领先的射频微波测试测量企业，在无线通信、航空航天、国防电子领域拥有 70 余年技术积淀。作为矢量网络分析仪技术标杆，R&S ZVA 系列定位高端工业级测量，以高功率输出、超宽动态范围、多端口并行架构与高速测量著称。ZVA67 作为 67GHz 频段主力型号，是全球首款 67GHz 四端口 VNA，集成多源相参、脉冲测量、噪声系数分析等核心能力，为高频器件研发与量产提供权威测量方案。

2. 产品特点

（1）超宽频与多端口架构
频率覆盖 10MHz–67GHz，覆盖 L/S/C/X/Ku/K 全微波波段；标配 2 端口、可选 4 端口，1.85mm 高性能连接器；内置 4 个独立相参信号源、8 个并行接收通道，单台完成多端口 / 平衡器件 / 混频器全参数测试。
（2）极致射频性能
动态范围典型 90–135dB（67GHz≥110dB）；输出功率 - 40dBm 至 + 18dBm（67GHz≥+6dBm）；接收机底噪 67GHz≤-100dBm；幅度精度 ±0.09dB、相位精度 ±0.6°@67GHz，微弱信号与高抑制度器件测量精准。
（3）高速测量与多模式能力
单测试点＜3.5μs、每轨迹 60001 点、信道切换＜1ms；中频带宽 1/5/30MHz 可选，支持 12.5ns 分辨率脉冲剖面测量；集成 S 参数、时域故障定位、噪声系数、AM-AM/AM-PM 非线性、真差分、混频器群时延 / 相位全功能。
（4）智能校准与系统兼容
支持 TOSM、TRL/LRL、UOSM、晶圆级校准；自动校准单元与夹具去嵌入，消除系统误差；12.1 英寸触控 + 物理按键双操作，多通道 / 多轨迹并行显示；LAN/USB/GPIB 全接口，SCPI 远程控制，无缝接入自动化产线。
（5）稳定可靠与长期精度
工业级硬件设计，7×24 小时连续运行；温度稳定性幅度 0.1dB/°C、相位 1°/°C；内置自校准与长期漂移补偿，保障高频段测量一致性；全球质保与专业技术服务。

3. 产品规格

参数项	规格详情
型号	R&S ZVA67
频率范围	10 MHz – 67 GHz
端口配置	2 端口（标配），4 端口（可选）
连接器	1.85 mm（阳头），50 Ω
动态范围	典型 90–135 dB；67 GHz ≥ 110 dB
输出功率	-40 dBm 至 +18 dBm；67 GHz ≥ +6 dBm
测量速度	＜3.5 μs / 测试点
中频带宽	1 Hz – 30 MHz（1/5/30 MHz 标配）
脉冲分辨率	12.5 ns
校准方式	TOSM, TRL/LRL, TOM, TRM, UOSM, 晶圆校准
测量功能	S 参数、时域、噪声系数、脉冲、混频器、差分、非线性
显示	12.1 英寸 WXGA 触控屏
接口	LAN (1G), USB 2.0, GPIB (可选), 触发 I/O
供电	100–240 V AC, 50/60 Hz
尺寸	460 × 285 × 462 mm
重量	约 25 kg
最大输入	+27 dBm / 30 V DC

4. 应用场景

（1）射频 / 微波器件研发
滤波器、耦合器、功分器、毫米波放大器、混频器、变频器的 S 参数、驻波、损耗、群时延、非线性与交调测试。
（2）5G/6G 毫米波通信
5G NR 毫米波前端、相控阵、天线阵列、射频模块的幅相一致性、差损、隔离度与多端口验证。
（3）航空航天与雷达
T/R 组件、机载 / 舰载雷达、卫星通信收发器、上 / 下变频器的脉冲特性、相位噪声、变频损耗与系统级测试。
（4）半导体与晶圆测试
GaN/GaAs 射频芯片、毫米波 IC、晶圆级 S 参数与片上器件高精度表征，适配半导体工艺研发。
（5）汽车雷达与车联网
77/79GHz 车载雷达、V2X 射频模块、车载天线的性能验证与产线批量测试。
（6）产线自动化测试
多端口器件高速并行测量、数据采集与追溯，适配通信 / 航空 / 半导体产线 7×24 小时自动化质检。
（7）科研与实验室
新型微波材料、太赫兹器件、电磁超材料、量子传感系统的高精度测量与基础研究。

罗德与施瓦茨R&S ZVA67 矢量网络分析仪｜10MHz-67GHz 四端口微波射频测试方案

罗德与施瓦茨R&S ZVA67 矢量网络分析仪｜10MHz-67GHz 四端口微波射频测试方案

1. 品牌介绍

2. 产品特点

3. 产品规格

4. 应用场景